高精度平面磨床是磨床的一种。主要用砂轮旋转研磨工件以使其可达到要求的平整度，根据工作台形状可分为矩形工作台和圆形工作台两种，矩形工作台平面磨床的主参数为工作台宽度及长度，圆形工作台的主参数为工作台面直径。根据轴类的不同可分为卧轴及立轴磨床之分。是磨削工件平面或成型表面的一类磨床。主要类型有卧轴矩台、卧轴圆台、立轴矩台、立轴圆台和各种平面磨床。
1、垫弹性垫片装夹方式
平面磨床上磨削上述薄片工件时，采用弹性夹紧机构，使薄片工件在自由状态下实现定位与夹紧。在工件与磁性工作台之间垫一层0.5mm厚的橡胶，当工件受磁性吸引力作用时，橡胶被压缩，弹性变形变小，从而可磨削出工件的平直平面。反复磨削几次，可满足加工精度要求。
2、用临时措施加强薄片工件的刚性
采用环氧树脂结合剂，将薄片工件在自由状态下粘到一块平板上。平板连同薄片一起放到磁力吸盘上。磨平薄片一端平面后，再将薄片工件从平板上取下来，以磨平的一面放到磁力吸盘上，再磨削薄片工件的另一端平面。由于环氧树脂在未硬化之前有流动性，它可以填平薄片工件与平板之间的间隙。当环氧树脂硬化后，工件与平板粘结在一起，成为一个整体，从而大大增强了工件的刚性。在磁力吸引下，薄片工件不会产生夹紧变形，为磨削出平直平面创造了条件。也可用厚油脂代替环氧树脂填充薄片工件与磁力吸盘之间的间隙，增强工件的刚性，同样可以收到良好的效果。
3、真空装夹方式
利用大气的压力装夹薄片工件来进行磨削加工。其工作原理为：夹具体上设有橡胶密封圈，把薄片工件放在橡胶密封圈上，从而使工件与夹具体之间形成密封腔。用真空泵将室内空气从抽气孔抽出，这时工件被夹紧。由于夹紧力小，可采用圆周磨削方法进行磨削加工。当磨削好薄片工件一端平面后，磨削薄片工件另一端平面时，可采用上述方式进行，同样可得到满意的结果。
